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SK海力士引入AI解决方案优化半导体工艺

时间:2023-05-27|浏览:192

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据韩联社报道,SK海力士今日表示,该公司已经开始在半导体制造中引入人工智能(AI)解决方案,以提高生产效率和质量。SK海力士投资的AI公司Gauss Labs在去年11月推出了一种名为“PanoPtesVM(虚拟仪器)”的虚拟计量方案,并于去年12月引入了该方案在半导体制造中的量产。据了解,Panoptes VM解决方案涉及芯片上关键工艺,即将计算方案引入薄膜沉积工艺,利用传感器数据预测制造过程的结果。薄膜厚度和折射率与半导体质量直接相关,但在薄膜中进行测量需要大量时间和资源,难以进行。报道指出,引入Panoptes VM方案的半导体生产企业的良率平均提高了21.5%。SK海力士制造和技术副总裁金永式表示:“我们与高斯实验室的合作是为了实现更加智能化的智能工厂,我们将在整个半导体开发和生产过程中融入人工智能技术,以确保技术优势。”

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